TY -
BOOK
AU - Henkel, Thomas
TI -
Ionenstrahlinduzierte Wachstumsprozesse amorpher Schichten in Silicium
PB - FZR
KW - Forschungsbericht
KW - Hochschulschrift
KW - Silicium
KW - Amorpher Zustand
KW - Schichtwachstum
KW - Ionenstrahl
PY - 1997
BT - FZR ; 175
CY - Dresden
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -