@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Mändl, Stephan
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title = {
Die Randschichtausbreitung bei der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
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publisher = {Forschungszentrum Rossendorf},
keywords = {
Forschungsbericht
,
Hochschulschrift
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year = {1998},
booktitle = {FZR ; 206},
address = {
Rossendorf
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url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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