author = { Lubnow, Andreas },

title = { Integration epitaktischer InP-Schichten in Si-MOS-Schaltungen },

publisher = {VDI-Verlag},

isbn = {3181466093},

keywords = { Hochschulschrift , MOS-Schaltung , Siliciumbauelement , Indiumphosphid , Dünne Schicht , Gasphasenepitaxie , Silicium },

year = {1993},

abstract = {Literaturverz. S. 102 - 107},

booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 166},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }