%0 Journal
%T F & M Feinwerktechnik, Mikrotechnik, Mikroelektronik ; Zeitschrift für Elektronik, Optik, Feinmechanik und Mikrotechnik in Gerätebau und Messtechnik ; Organ der VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik
%I Hanser
%@ 1437-9503
%@ 0944-1018
%K Zeitschrift
%K Mikrosystemtechnik
%K Feinwerktechnik
%K Messtechnik
%K Prüftechnik
%K Mikroelektronik
%K Optik
%D 1992-2001
%C Hanser
%C München
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation