%0 Book
%T Nutzung des Kapillareffektes zur Überwindung von Chipverwölbungen während der Montage dünner Siliziumchips
%A Frömmig, Max
%I Detert
%@ 9783934142763
%K Hochschulschrift
%K Chip
%K Montage
%K Silicium
%K Halbleitersubstrat
%K Deformation
%K Wölbung
%K Reduktion
%K Kapillarität
%K Kapillardruck
%K Benetzung
%D 2015
%C Detert
%C Templin
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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