@book {TN_libero_mab2,
author = { Wuu, Shou-Gwo Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie Müller, Jörg AND Bauhofer, Wofgang },
title = { Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator },
edition = { Als Ms. gedr. } ,
publisher = {VDI-Verl.},
isbn = {3181443093},
keywords = { Hochschulschrift , SOI-Technik , Epitaxie , Laser , Flüssigphasenepitaxie , EBIC-Verfahren },
year = {1992},
booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 143},
address = { Düsseldorf },
url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }
}
Download citation