%0 Book
%T Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator
%A Wuu, Shou-Gwo
%A Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
%A Müller, Jörg
%A Bauhofer, Wofgang
%7 Als Ms. gedr.
%I VDI-Verl.
%@ 3181443093
%K Hochschulschrift
%K SOI-Technik
%K Epitaxie
%K Laser
%K Flüssigphasenepitaxie
%K EBIC-Verfahren
%D 1992
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation