TY - BOOK
AU - Wuu, Shou-Gwo
AU - Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
AU - Müller, Jörg
AU - Bauhofer, Wofgang
TI - Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator
ET - Als Ms. gedr.
PB - VDI-Verl.
SN - 3181443093
KW - Hochschulschrift
KW - SOI-Technik
KW - Epitaxie
KW - Laser
KW - Flüssigphasenepitaxie
KW - EBIC-Verfahren
PY - 1992
BT - Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 143
CY - Düsseldorf
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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