%0 Book
%T High dielectric constant materials VLSI MOSFET Applications; ... 31 tables
%A Huff, Howard R.
%I Springer
%@ 3540210814
%K Integrated circuits Very large scale integration
%K Semiconductors
%K Gate array circuits Materials Congresses
%K Dielectrics
%K Aufsatzsammlung
%K VLSI
%K MOS-FET
%K Gate Elektronik
%K Siliciumdioxid
%K Dielektrische Schicht
%K Siliciumoxinitride
%D 2005
%X Literaturangaben
%C Springer
%C Berlin
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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