%0 Book
%T Reinigung und Reparatur geschädigter "ultra-low-k-Materialien" eine ab initio Studie
%A Böhm, Oliver
%A Technische Universität Chemnitz
%A GWT-TUD GmbH Dresden
%I Verlag Wissenschaftliche Scripten
%@ 9783957350213
%K Hochschulschrift
%K Low-k-Dielektrikum
%K Silylierung
%K Diffusion
%K Ab-initio-Rechnung
%K Dichtefunktionalformalismus
%K Molekulardynamik
%K Siliciumorganische Verbindungen
%K Aktivierungsenergie
%K Thermochemie
%D 2015
%C Verlag Wissenschaftliche Scripten
%C [Auerbach/Vogtland]
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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