TY -
BOOK
AU - Böhm, Oliver
AU - Technische Universität Chemnitz
AU - GWT-TUD GmbH Dresden
TI -
Reinigung und Reparatur geschädigter "ultra-low-k-Materialien"
eine ab initio Studie
PB - Verlag Wissenschaftliche Scripten
SN - 9783957350213
KW - Hochschulschrift
KW - Low-k-Dielektrikum
KW - Silylierung
KW - Diffusion
KW - Ab-initio-Rechnung
KW - Dichtefunktionalformalismus
KW - Molekulardynamik
KW - Siliciumorganische Verbindungen
KW - Aktivierungsenergie
KW - Thermochemie
PY - 2015
BT - Forschung für die Praxis ; Band 2
CY - [Auerbach/Vogtland]
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -