TY -
GEN
AU - Ruther, Patrick
AU - Bacher, Walter
AU - Feit, Klaus
TI -
Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben
PB - KIT-Bibliothek
KW - Hochschulschrift
KW - Mikromechanik
KW - Biegeversuch
KW - Prüfgerät
KW - LIGA-Verfahren
PY - [2016]
BT - Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe ; 5986
CY - Karlsruhe
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -