@misc
{TN_libero_mab2,
author = {
Chiang, Chung-I
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title = {
Herstellung und Charakterisierung von gesputterten Bornitrid- und Borcarbid-Schichten und deren Modifikation durch Ionenimplantation
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publisher = {KIT-Bibliothek},
keywords = {
Hochschulschrift
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year = {[2017]},
booktitle = {Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe ; 5644},
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Karlsruhe
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url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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