@misc {TN_libero_mab2,
author = { Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics Veranstaltung 2022 San Francisco, Calif.; Online AND SPIE AND SPIE Freymann, Georg von AND Blasco, Eva AND Chanda, Debashis },
title = { Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XV 22-27 January 2022, San Francisco, California, United States : 20-24 February 2022, online },
publisher = {SPIE},
isbn = {9781510648968},
keywords = { Konferenzschrift },
year = {[2022]},
abstract = {Teilkonferenz von SPIE OPTO 2022 im Rahmen von SPIE Photonics West 2022},
abstract = {Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge},
abstract = {Literaturangaben},
booktitle = {Proceedings of SPIE ; volume 12012},
booktitle = {Proceedings of SPIE ; volume PC12012},
address = { Bellingham, Washington, USA },
url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }
}
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