%0 Generic
%T Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XV 22-27 January 2022, San Francisco, California, United States : 20-24 February 2022, online
%A Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics Veranstaltung 2022 San Francisco, Calif.; Online
%A SPIE
%A SPIE
%A Freymann, Georg von
%A Blasco, Eva
%A Chanda, Debashis
%I SPIE
%@ 9781510648968
%K Konferenzschrift
%D [2022]
%X Teilkonferenz von SPIE OPTO 2022 im Rahmen von SPIE Photonics West 2022
%X Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge
%X Literaturangaben
%C SPIE
%C Bellingham, Washington, USA
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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