TY - GEN

AU - Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics Veranstaltung 2022 San Francisco, Calif.; Online

AU - SPIE

AU - Freymann, Georg von

AU - Blasco, Eva

AU - Chanda, Debashis

TI - Advanced Fabrication Technologies for Micro/Nano Optics and Photonics XV 22-27 January 2022, San Francisco, California, United States : 20-24 February 2022, online

PB - SPIE

SN - 9781510648968

KW - Konferenzschrift

PY - [2022]

N2 - Teilkonferenz von SPIE OPTO 2022 im Rahmen von SPIE Photonics West 2022

N2 - Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge

N2 - Literaturangaben

BT - Proceedings of SPIE ; volume 12012

BT - Proceedings of SPIE ; volume PC12012

CY - Bellingham, Washington, USA

UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2

ER -