author = { Schroedter, Richard Technische Universität Dresden Janschek, Klaus AND Schitter, Georg },

title = { Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb = Model-based system design for the control of quasi-static micro scanning mirrors with electrostatic comb drive },

publisher = {Technische Universität Dresden},

keywords = { Hochschulschrift , MEMS , Spiegelsystem , Scanner , Mikroaktor , Kammantrieb , Positionsgeber , Reglerentwurf , Repetitive control , Systementwurf },

year = {2018},

address = { Dresden },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }