%0 Generic
%T Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb = Model-based system design for the control of quasi-static micro scanning mirrors with electrostatic comb drive
%A Schroedter, Richard
%A Technische Universität Dresden
%A Janschek, Klaus
%A Schitter, Georg
%I Technische Universität Dresden
%K Hochschulschrift
%K MEMS
%K Spiegelsystem
%K Scanner
%K Mikroaktor
%K Kammantrieb
%K Positionsgeber
%K Reglerentwurf
%K Repetitive control
%K Systementwurf
%D 2018
%C Technische Universität Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation