author = { Goßner, Harald },

title = { Feldeffektgesteuerte Siliziumbauelemente in Nanometerdimensionen },

publisher = {},

keywords = { Hochschulschrift , CMOS , Siliciumbauelement , Nanometerbereich },

year = {1994},

address = { },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }