TY - BOOK

AU - Heekenjann, Peter B.

TI - Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitungsstation

ET - Als Ms. gedr

PB - VDI-Verl.

SN - 3183370026

KW - Hochschulschrift

KW - Feinbearbeitung

KW - Laserlithografie

KW - Maskentechnik

PY - 1996

N2 - Literaturverz. S. 111 - 123

BT - Fortschritt-Berichte VDI ; Reihe 2, Fertigungstechnik ; 370

BT - Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover

CY - Düsseldorf

UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2

ER -