%0 Book
%T Plasmapolymerisierte Membranen zur Verbesseung der Selektivität von Gassensoren
%A Nehlsen, Stefan
%A Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
%A Müller, Jörg
%A Keil, Frerich
%7 Als Ms. gedr.
%I VDI-Verl.
%@ 3183511037
%K Hochschulschrift
%K Gassensor
%K Halbleitersensor
%K Selektivität
%K Siliciumorganische Verbindungen
%K Plasmapolymerisation
%K Kompositmembran
%K Technische Membran
%D 1997
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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