@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Leyens, Christoph
},
title = {
Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung
},
edition = {
Als Ms. gedr.
}
,
publisher = {VDI-Verl.},
isbn = {3183534053},
keywords = {
Metallischer Werkstoff
,
Magnetronsputtern
,
Prozessführung Technik
,
Dünne Schicht
,
Stoffeigenschaft
,
Keramischer Werkstoff
},
year = {1998},
abstract = {Literaturverz. S. 105 - 109},
booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe ; 534},
address = {
Düsseldorf
},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
}
}