%0
Book
%T
Wechselwirkung zwischen Herstellungsparametern und Schichteigenschaften ausgewählter metallischer und keramischer Systeme bei der Magnetron-Kathodenzerstäubung
%A Leyens, Christoph
%7 Als Ms. gedr.
%I VDI-Verl.
%@ 3183534053
%K Metallischer Werkstoff
%K Magnetronsputtern
%K Prozessführung Technik
%K Dünne Schicht
%K Stoffeigenschaft
%K Keramischer Werkstoff
%D 1998
%X Literaturverz. S. 105 - 109
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2