author = { Maier-Schneider, Dieter },

title = { LPCVD-Polysilizium in der Mikromechanik: Bestimmung der elastischen Eigenschaften },

edition = { Als Ms. gedr } ,

publisher = {VDI-Verl.},

isbn = {3183183188},

keywords = { Hochschulschrift , LPCVD-Verfahren , Silicium , Polykristall , Elastizitätsmodul , Eigenspannung },

year = {1995},

booktitle = {Fortschritt-Berichte VDI ; Reihe 18, Mechanik/Bruchmechanik ; 183},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }