%0 Book
%T Laserformierte, vertikale Kontakte für mikroelektronische Schaltungen mit redundanten Elementen
%A Hartmann, Hans-Dieter
%7 Als Ms. gedr.
%I VDI-Verl.
%@ 3181471097
%K Hochschulschrift
%K Mikroschaltung
%K Laser
%K Kontaktieren
%D 1993
%X Literaturverz. S. 172 - 182
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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