TY - BOOK

AU - Hartmann, Hans-Dieter

TI - Laserformierte, vertikale Kontakte für mikroelektronische Schaltungen mit redundanten Elementen

ET - Als Ms. gedr.

PB - VDI-Verl.

SN - 3181471097

KW - Hochschulschrift

KW - Mikroschaltung

KW - Laser

KW - Kontaktieren

PY - 1993

N2 - Literaturverz. S. 172 - 182

BT - Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 171

CY - Düsseldorf

UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2

ER -