%0 Book
%T Fundamentals of microfabrication the science of miniaturization
%A Madou, Marc J.
%7 2. ed.
%I CRC Press
%@ 0849308267
%K Microelectronics
%K Integrated circuits Design and construction
%K Microelectromechanical systems Design and construction
%K Machining
%K Microelectronic packaging
%K Lasers Industrial applications
%K Lithografie Halbleitertechnologie
%K Mikrosystemtechnik
%K Mikromechanik
%K Entwurf
%K Konstruktion
%D 2002
%X 3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd
%X Literaturangaben
%C CRC Press
%C Boca Raton, Fla. [u.a.]
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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