TY - BOOK
AU - Madou, Marc J.
TI - Fundamentals of microfabrication the science of miniaturization
ET - 2. ed.
PB - CRC Press
SN - 0849308267
KW - Microelectronics
KW - Integrated circuits Design and construction
KW - Microelectromechanical systems Design and construction
KW - Machining
KW - Microelectronic packaging
KW - Lasers Industrial applications
KW - Lithografie Halbleitertechnologie
KW - Mikrosystemtechnik
KW - Mikromechanik
KW - Entwurf
KW - Konstruktion
PY - 2002
N2 - 3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd
N2 - Literaturangaben
CY - Boca Raton, Fla. [u.a.]
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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