@misc
{TN_libero_mab2,
author = {
Technische Universität Darmstadt Institut für Elektromechanische Konstruktionen
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title = {
Mikro- und Sensortechnik
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publisher = {Inst. für Elektromechanische Konstruktionen},
keywords = {
Monografische Reihe
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year = {2003-},
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Darmstadt
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