%0 Book
%T Chemical vapour deposition precursors, processes and applications
%A Jones, Anthony C.
%A Hitchman, Michael L.
%I RSC Publishing
%@ 0854044655
%@ 9780854044658
%K Chemical vapor deposition
%K Aufsatzsammlung
%K CVD-Verfahren
%D [2009]
%D , © 2009
%X Literaturangaben
%C RSC Publishing
%C Cambridge
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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