author = { Bennis, Abdelali },

title = { Entwicklung einer kontaktfreien nichtdestruktiven Methode zur Messung von mechanischen und elastischen Eigenschaften von mikromechanischen Mehrschichtsystemen mit akustischen Oberflächenwellen },

publisher = {Universitätsverlag Chemnitz},

isbn = {9783941003088},

keywords = { Lichtmodulator , Hochschulschrift , Mehrschichtsystem , Mikromechanik , Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung , Akustische Oberflächenwelle , Oberflächenspektroskopie },

year = {2009},

address = { Chemnitz },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }