%0 Generic
%T High Dielectric Constant Materials VLSI MOSFET Applications
%A Huff, H.R
%A Gilmer, D.C
%I Springer Berlin Heidelberg
%@ 9783540264620
%K Condensed matter
%K Optical materials
%K Surfaces (Physics)
%K Chemistry
%K Aufsatzsammlung
%K VLSI
%K MOS-FET
%K Gate Elektronik
%K Siliciumdioxid
%K Dielektrische Schicht
%K Siliciumoxinitride
%D 2005
%C Springer Berlin Heidelberg
%C Berlin, Heidelberg
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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