TY - GEN
AU - Huff, H.R
AU - Gilmer, D.C
TI - High Dielectric Constant Materials VLSI MOSFET Applications
PB - Springer Berlin Heidelberg
SN - 9783540264620
KW - Condensed matter
KW - Optical materials
KW - Surfaces (Physics)
KW - Chemistry
KW - Aufsatzsammlung
KW - VLSI
KW - MOS-FET
KW - Gate Elektronik
KW - Siliciumdioxid
KW - Dielektrische Schicht
KW - Siliciumoxinitride
PY - 2005
BT - Springer Series in Advanced Microelectronics ; 16
BT - SpringerLink ; Bücher
CY - Berlin, Heidelberg
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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