Pyper, Oliver
[Author];
Schulz, Jörg
[Author];
Hebner, Anja
[Author];
Albrecht, Jan
[Author];
Weder, Andreas
[Author];
Koch, Sandro
[Author];
Heinig, Andreas
[Author];
Wendland, Georg
[Author];
Maurer, Wilhelm
[Author];
Grzelak, Dominik
[Author];
Müller, Jens
[Author]
;
Infineon Technologies Dresden,
Dr. Födisch Umweltmesstechnik AG,
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme,
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme,
IMA Materialforschung und Anwendungstechnik GmbH,
Infineon Technologies AG,
Technische Universität Dresden,
XENON Automatisierungstechnik GmbH