Bette, Sebastian
[Contributor]
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Melexis Tessenderlo,
aixACCT Systems GmbH,
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie,
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel Institut für Materialwissenschaft,
X-FAB MEMS Foundry GmbH,
X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH