Dittmar, Georg
[Author];
Erfurt, Darja
[Author];
Galonska, Kristin
[Author];
Hála, Matej
[Author];
Klenk, Reiner
[Author];
Körner, Stefan
[Author];
Menner, Richard
[Author];
Niesen, Thomas
[Author];
Panckow, Andreas
[Author];
Schorn, Dieter
[Author];
Sittinger, Volker
[Author];
Szyszka, Bernd
[Author]
;
Avancis GmbH,
Solayer GmbH,
Sentech Instruments GmbH Berlin,
MAGPULS Stromversorgungs Systeme GmbH,
Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie,
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik,
Technische Universität Berlin,
Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung Baden-Württemberg