Müller, J.
[Author];
Kleinholz, Cathleen
[Author];
Günther-Müller, Sarah
[Author];
Fischer, M.
[Author];
Strehle, Steffen
[Author];
Motzkus, Clemens
[Author];
Engelhardt, Hannes
[Author];
Heidenreich, Manuel
[Author];
Schulz, Thomas
[Author];
Löhnert, Romy
[Author];
Töpfer, Jörg
[Author];
Altendorf, L.
[Author];
Thelemann, T.
[Author];
Bensch, R.
[Author];
Bartnitzek, T.
[Author];
Schroeter, Annett
[Author];
Kellner, Maria
[Author];
Leistritz, Bianca
[Author];
Nikpourian, Alireza
[Author];
Ortlepp, Thomas
[Author];
Hintz, M.
[Author];
Käpplinger, Indira
[Author];
Schädel, M.
[Author];
Baldauf, J.
[Author];
[...]
;
Görne, Arno Ludwig
[Contributor];
Capraro, Beate
[Contributor];
Kreher, Lisa
[Contributor];
Hajian, Ali
[Contributor];
Adaikkan, Manikandan
[Contributor];
Bechtold, Franz
[Contributor];
Grieger, Johanes
[Contributor];
Schundau, Sven
[Contributor]
Technische Universität Ilmenau,
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme,
Ernst-Abbe-Hochschule Jena,
Micro-Hybrid-Electronic GmbH,
VIA Electronic GmbH Hermsdorf,
Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme Ilmenau,
CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik,
5microns GmbH,
Siegert TFT GmbH Hermsdorf,
ABATEC Mikrosysteme,
LLT Applikation GmbH