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  1. Stauffenberg, Jaqueline [Author] ; Manske, Eberhard [Degree supervisor]; Zöllner, Jens-Peter [Degree supervisor]; Gotszalk, Teodor Paweł [Degree supervisor] Technische Universität Ilmenau

    Kombination aus Nanofabrikation und Nanometrologie auf einer planaren Ø100 mm Nanofabrikationsmaschine (NFM-100)

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    Ilmenau: Universitätsbibliothek, [2024?]