Media type: Book; Thesis Title: Eigenschaften und Technologien von laserrekristallisierten Siliziumdünnschichtbauelementen Other titles: Nebent.: Dünnschichtbauelemente Contains: Literaturverz. S. 136 - 150 Contributor: Weissel, Ralph [Author]; Müller, Jörg [Doktorvater]; Paul, Reinhold [Other] Corporation: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1987 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 69 Issue: Als Ms. gedr Extent: 201 S; 44 Ill. und graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3181469092 Keywords: Silicium > Dünne Schicht > Polykristall > Rekristallisation > Argonlaser Origination: University thesis: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1987 Footnote: Richtiger Name des Verf.: Weißel, Ralph
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