Media type: Book; Thesis Title: Integrierte Prozeß- und Parametersimulation zur Modellierung von Halbleiterbauelementen für die Großintegration Contributor: Stein, Erhard [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1988 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 75 Issue: Als Ms. gedr. Extent: 213 S; graph. Darst Language: German ISBN: 3181475092 Keywords: Halbleitertechnologie > Prozesssimulation Halbleitertechnologie > Prozesssimulation Origination: University thesis: Zugl.: Duisburg, Diss Footnote: Literaturverz. S. 197 - 211
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-75 Item ID: 10361852 Status: Loanable
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