Media type: Book; Thesis Title: Herstellung und Charakterisierung von Plasmapolymer-Schichten für die Stofftrennung Contributor: Weichart, Jürgen [Author]; Müller, Jörg [Doktorvater]; Peinemann, Klaus-Viktor [Other] Corporation: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1992 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 290 Issue: Als Ms. gedr. Extent: 210 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3181490032 Keywords: Plasmapolymerisation > PECVD-Verfahren > Technische Membran > Gastrennung Origination: University thesis: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1992 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-290 Item ID: 30525937 Status: Loanable
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-290 Item ID: 30527644 Status: Loanable