Media type: Book; Thesis Title: Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen Contributor: Müller, Karl Paul [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1990 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 100 Issue: Als Ms. gedr Extent: IX, 120 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3181400092 Keywords: Gold > Dünne Schicht > Sputtern > Ionenstrahl > Einfallwinkel Origination: University thesis: Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss. Footnote:
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