• Media type: Book; Thesis
  • Title: Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
  • Contributor: Müller, Karl Paul [Author]
  • imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1990
  • Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 100
  • Issue: Als Ms. gedr
  • Extent: IX, 120 S.; Ill., graph. Darst
  • Language: German
  • ISBN: 3181400092
  • Keywords: Gold > Dünne Schicht > Sputtern > Ionenstrahl > Einfallwinkel
  • Origination:
  • University thesis: Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
  • Footnote:

copies

(0)
  • Shelf-mark: 20 4 00515 100 01 0 1
  • Item ID: 32503106
  • Status: Loanable, place order
  • Shelf-mark: 3039.8.0321
  • Item ID: 31527899
  • Status: Loanable, place order