Media type: Book; Thesis Title: Selektive und eingeschlossene Laserablation von TCO- und dünnen Si-Schichten mit kurzen (ns) und ultrakurzen Pulsen (ps, fs) Contributor: Krause, Stephan [VerfasserIn] Corporation: Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg Published: Halle (Saale): Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Mai 2018 Extent: v, 139 Seiten; Illustrationen, Diagramme Language: German Origination: Keywords: Laserablation > Raman-Spektroskopie > Transparent-leitendes Oxid > Silicium > Mehrschichtsystem > Durchstrahlungselektronenmikroskopie > Phasenumwandlung > Amorpher Zustand > Kristall > Strahlenschaden Footnote:
Central Library – stack Shelf-mark: 2019 8 016862 Item ID: 34805248 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in