Media type: Book; Thesis Title: Ein integrierter Druck-Temperatursensor in Siliziumplanartechnik Other titles: Nebent.: Integrierter Druck-/ Temperaturmesser Contributor: Zucker, Othmar [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1991 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 124 Issue: Als Ms. gedr. Extent: 147 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3181424099 Keywords: Multisensor > Siliciumsensor > Druckmessung > Temperaturmessung Origination: University thesis: Zugl.: Darmstadt, Techn. Hochsch., Diss Footnote: Zugl.: Diss
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 1701-124 Item ID: 10065106 Status: Loanable
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