Media type: Book; Thesis Title: Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten : Herstellung und Charakterisierung Contributor: Puchalla, Jochen [Author] imprint: Jülich: Forschungszentrum, Zentralbibliothek, 2007 Published in: Forschungszentrum Jülich: Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Informationstechnik ; 17 Extent: 165 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Language: German ISBN: 9783893364923; 3893364927 RVK notation: ZN 4174 : CVD Keywords: MOCVD-Verfahren > Ferroelektrikum > Dünne Schicht > Polykristall > Perowskitstruktur > Epitaxieschicht Origination: University thesis: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2007 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4174 P977 Item ID: 32166260 Status: Loanable