Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme

Media type: Book; Thesis
Title: Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme
Contains: Tab. - Literaturverz. S. 93 - 96

Contributor: Podbielski, Rainer [Author]; Möller, Hans Joachim [Doktorvater]; Schünemann, Klaus [Gutachter]
Corporation: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1986
Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 62
Issue: Als Ms. gedr.
Extent: 175 S; Ill. , graph. Darst
Language: German
ISBN: 3181462098
Keywords: Silicium > Dünne Schicht > Polykristall > Elektrische Leitfähigkeit > Messung
Origination:
University thesis: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1986
Footnote:

Strukturelle und elektrische Eigenschaften polykristalliner Siliziumdünnfilme - [Als Ms. gedr.]