Media type: Book; Thesis Title: Ortsaufgelöste Leckstrom-Messungen an der Silizium-Elektrolyt-Grenzfläche Contributor: Korallus, Jens [Author] imprint: 2001 Extent: IV, 168 S.; Ill., graph. Darst Language: German RVK notation: ZN 4040 : Zuverlässigkeit elektronischer Bauelemente und Geräte Keywords: Silicium > Wafer > Leckstrom > Elektrolyt > Grenzfläche > Rasterelektrochemisches Mikroskop Origination: University thesis: Kiel, Univ., Diss., 2001 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4040 K84 Item ID: 31152233 Status: Loanable