Media type: Book; Thesis Title: Plasmapolymerisierte Membranen zur Verbesseung der Selektivität von Gassensoren Contributor: Nehlsen, Stefan [Author]; Müller, Jörg [Doktorvater]; Keil, Frerich [Gutachter] Corporation: Technische Universität Hamburg-Harburg, Arbeitsbereich Halbleitertechnologie imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Other titles: Nebent.: Plasmapolymermembranen für Gassensoren Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 511 Issue: Als Ms. gedr. Extent: VIII, 171 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3183511037 Keywords: Gassensor > Halbleitersensor > Selektivität > Siliciumorganische Verbindungen > Plasmapolymerisation > Kompositmembran Gassensor > Technische Membran > Plasmapolymerisation Origination: University thesis: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss., 1997 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-511 Item ID: 30897580 Status: Loanable