Media type: Book; Thesis Title: Aufbringung von Siliziumoxidschichten durch Plasma-CVD und Anwendung auf Beschichtungen in einer Plasma-Wirbelschicht Other titles: Nebent.: Siliziumschichten durch Plasma-CVD Contributor: Bayer, Christian [Author] imprint: Düsseldorf: VDI Verl., 1998 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 3 ; 534 Extent: XIV, 146 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183534037 Keywords: Hexamethyldisiloxan > PECVD-Verfahren > Mikrowellenplasma > Wirbelschichtverfahren > Siliciumdioxid > Dünne Schicht CVD-Verfahren > Plasma > Siliciumoxide Origination: University thesis: Zugl.: Zürich, ETH, Diss., 1997 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: VN 2003-534 Item ID: 30557949 Status: Loanable