Media type: Book; Thesis Title: Stabstirn-Trennschleifen von einkristallinem Silizium Other titles: Nebent.: Trennschleifen von Silizium Contributor: Hartmann, Matthias [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1997 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 42200 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und Spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover Issue: Als Ms. gedr Extent: XIII, 144 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183422026 RVK notation: UP 3100 : Halbleitermaterialien, Allgemeines Keywords: Silicium > Einkristall > Wafer > Trennschleifen > Prozessüberwachung Origination: University thesis: Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1996 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1702-422 Item ID: 30435368 Status: Loanable